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湖南大学教授段辉高到兰州化物所交流

湖南大学教授段辉高到兰州化物所交流

  11月13日,湖南大学教授段辉高应邀到中国科学院兰州化学物理研究所进行学术交流,并作了题为“亚10nm图形加工及应用”的学术报告。

  报告中,段辉高首先介绍了其团队近些年在电子束以及离子束曝光分辨率极限方面的工作。通过研究这些曝光方法的分辨率限制因素以及优化它们的工艺参数,可实现10nm以下周期(5nm半周期)的分辨率,最小线宽可达到3nm。

  段辉高分别于2004年和2010年获兰州大学学士和博士学位。2012年获“全国百篇优秀博士学位论文奖”。2006至2012年间,先后在中科院电工研究所、美国麻省理工学院、新加坡科技研幸运28 究局、德国斯图加特大学从事研究工作,2012年2月加入湖南大学开展独立科研工作。迄今在Nature Nanotechnology、Advanced 幸运28Materials、Nano Letters等顶级期刊发表SCI论文70余篇,拥有3项新加坡、澳大利亚专利。